飞行时间二次离子质谱仪的知识要点，一看便知

　　飞行时间二次离子质谱仪的基本结构：

　　二次离子质谱仪视其应用之不同而有各种不同的型式，其基本构造可分为下列四大部分：

　　（1）照射激发用的一次离子束的离子枪；

　　（2）以能量选择由试品产生的二次离子能量过滤器；

　　（3）进行质量选择的质谱仪；

　　（4）放大、检测经质量选择後的二次离子检测输出信号。

飞行时间二次离子质谱仪的原理：

　　1.利用聚焦的一次离子束在样品表面上进行稳定的轰击，一次离子可能受到样品表面的背散射，也有部分进入样品表面，这部分离子把能量传递给晶格，当入射能量大于晶格对原子的束缚能是，部分原子脱离晶格向表面运动，并且产生原子间的级联碰撞，当这一能量传递到表面，并且大于表面的束缚能时，促使表面原子脱离样品，谓之溅射；

　　2.上述一次离子引发的溅射大部分为中性原子或分子，也有少量荷电集团，包括带电离子、分子、原子团，按照荷质比经过质谱分离；

　　3.收集经过质谱分子的二次离子，可以得知样品表面和体内的元素组成和分布。

　　飞行时间二次离子质谱仪的应用很广，侦测表面污染、氧化、还原、吸附、腐蚀、触媒效应、表面处理等动态分析之表面研究工作，尤其可作微量元素分布，因此在材料、化学、物理、冶金及电子方面之发展，使用者很多。该产品不但可作表面及整体之分析，又可直接作影像观察，其灵敏度及解析能力甚高，由较小的氢至原子量很大的元素均可侦测，尤其对于同位素的分析更是有效。