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二次离子质谱仪原理的基本特征介绍

更新时间：2022-07-19 浏览：814次

二次离子质谱仪是利用高能离子束轰击样品产生二次离子的质谱仪。主要包括一次离子源、进样室、质量分析仪、真空系统、数据处理系统等部分，绝缘样品还配有电荷补偿电子中和枪，根据分析目的不同，还有不同的离子源，如气体放源（O,Ar,Xe)，表面电离源（如Cs)，热隙源如C60，以及液态金属和团簇源（Bin,Aun,Ga）等。二次离子质谱仪原理的基本特征如下：

　　1.它的信息深度很小（比1nm还小）；能够对材料的Z外层（原子层）的结构进行分析。

　　2.空间分辨率非常的高和样品表面结构（小于50nm）比较清晰。

　　3.能够检测质量的范围包括原子量单位低于12,000的所有材料，包括H和He等元素。

　　4.分子离子峰和官能团碎片峰能够同时给出；能够对化合物和有机大分子的整体结构方便地进行分析。

　　5.双束离子源可用于深度解析度小于1nm的样品。

　　6.使样品Z表层的1-3个原子的信息深度获得；

　　7.能够检测同位素进行同位素分析；

　　8.达到PPM-PPB水平的检测极限。

　　9.能够对所有元素和化合物同时检测，离子转移率能够达到100％。

　　10.使用GX的电子中和枪能够对绝缘材料进行准确分析。