HPR-30过程气体分析仪（Process Gas Analyser），适用于监测分析残余气体和真空过程。可检测反应室内存在的所有成分，以及系统析出的新组分。

HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器。可快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。