Hiden EQP 等离子体质量和能量分析仪是一台结合质量和能量分析的仪器（Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics），用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。

IMP（Ions Milling Probe）离子蚀刻探针－终点检测仪是自带差式泵的耐用的二次离子质谱仪，*的专业检测终点仪器。用于离子蚀刻控制以及优化工艺。适用于离子刻蚀过程中的二次离子和中性粒子分析。

沉积速率监测 分子束质谱仪采用三级滤过四极杆质谱仪，适于分子束和多源分子束研究和MBE监测。

ESPion高级朗缪尔探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、准确地进行等离子体诊断，是先进可靠的Langmuir探针。