当前位置: 网站首页> 产品中心> > 在线气体分析> HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪

活泼性/腐蚀性气体分析仪

简要描述:HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器。可快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。

  • 产品型号:HPR-80
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2023-11-22
  • 访 问 量:2739
相关文章 / RELATED ARTICLES
    详细介绍
    品牌 其他品牌 产地类别 进口
    应用领域 综合

    HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪应用:


    • 等离子体/反应性离子蚀刻研究
    • CVD / PVD / MOCVD
    • 半导体晶片加工研究
    • 真空、等离子体过程
    • 活性物质定量分析
    • HF,HCl,HBr,CFC 研究

    HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪特点:


    • 加热的电抛光波纹管,快速偶合连结器
    • 可清除的,带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
    • 高灵敏度至 5 ppb, 质量数为 2500 amu.
    • 进样压力从 1 mtorr 至大气压
    • 电容压力计,压力检测可不受分析物影响
    • 稳定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
    • 软件 MASsoft 控制
    • 矩阵反演,归一化及单峰参考

    产品咨询

    留言框

    • 产品:

    • 您的单位:

    • 您的姓名:

    • 联系电话:

    • 常用邮箱:

    • 省份:

    • 详细地址:

    • 补充说明:

    • 验证码:

      请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
    Contact Us
    • 联系QQ:52436437
    • 联系邮箱:info@extratech.com.cn
    • 联系电话:010 5272 2415
    • 联系地址:北京市海淀区四季青路8号郦城工作区235

    扫一扫 微信咨询

    © 2024 英格海德分析技术有限公司 版权所有备案号:京ICP备05008133号-4技术支持:化工仪器网管理登陆sitemap.xml

    服务热线
    13501238067

    微信扫一扫

    Baidu
    map