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残余气体分析四极质谱仪

简要描述:分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的分析。该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成,并能在分子束外延环境中长期使用。

  • 产品型号:HALO 201 MBE
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-05-13
  • 访 问 量:3748
详细介绍
品牌 其他品牌 应用领域 医疗卫生,环保,化工,生物产业

仪器简介:

HALO 201 MBE 分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的分析。 该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成,并能在分子束外延环境中长期使用。

主要特点:

1、钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命

2、抗污染离子源护罩

3、双法拉第/ channelplate电子倍增器

HALO 201 MBE残余气体分析四极质谱仪技术规格:

·质量数范围:1~300 amu

·扫描速度:100amu/s

·小扫描步阶:0.01amu

·灵敏度:0.1 ppm~1ppm

·稳定性:24h以上,峰高变化小于±0.5%

·小检测分压:2 x 10-13 mbar

·大工作压力:1 x 10-4 mbar

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