HIDEN RGA系列残余气体分析四极质谱仪检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的准确分析。

分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的分析。该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成，并能在分子束外延环境中长期使用。